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日立高新鎢燈絲掃描電子顯微鏡SU3500

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日立高新鎢燈絲掃描電子顯微鏡SU3500

詳細(xì)介紹

日立高新高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡SU3500, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。

通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
日立高新鎢燈絲掃描電鏡SU3500具有實(shí)現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊1, 以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器”＊1。
它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1：自選

特點(diǎn)
低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高，可更好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2，自動(dòng)功能縮短＊3了大約11秒
具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測(cè)器）”＊4
具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊4
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根據(jù)觀察條件的不同，時(shí)間會(huì)有變動(dòng)
（*4）：自選

規(guī)格

項(xiàng)目		描述
二次電子分辨率		3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式）
二次電子分辨率		7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式）
背散射電子分辨率		4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式）
背散射電子分辨率		10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式）
放大倍率		5 - 300,000倍（底片倍率^＊5）
放大倍率		7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率^＊6）
加速電壓		0.3 - 30kV
可變壓力范圍		6 - 650Pa
樣品尺寸		直徑 200mm
樣品臺(tái)	X	0 - 100mm
	Y	0 - 50mm
	Z	5 - 65mm
	R	360°
	T	-20° - 90°
	可觀察區(qū)域	直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用）
	樣品高度	80mm（WD=10mm）
	馬達(dá)臺(tái)	5軸標(biāo)配
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	預(yù)對(duì)中的鎢燈絲
	物鏡光闌	4孔可動(dòng)光闌
	探檢測(cè)器	埃弗哈特索恩利二次電子探測(cè)器
	探檢測(cè)器	高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
	EDX分析 WD	10mm（取出角35°）
圖像顯示	操作系統(tǒng)	Windows^® 7^＊7（如有更改，恕不另行通知）
	圖像顯示模式	全屏模式（1,280 × 960 像素）
		小屏模式（800 × 600 像素）
		雙圖像顯示（800 × 600 像素）
		四屏幕顯示（640 × 480像素）
		信號(hào)混合模式
排氣系統(tǒng)	操作	全自動(dòng)排氣
	渦輪分子泵	210升/秒 × 1
	機(jī)械泵	135L/min（162L/min，60Hz）× 1