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日立高新掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日立公司于2016年4月15日在發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，但分辨率不輸大型電鏡，同時(shí)操作極其簡(jiǎn)便，幾乎不用培訓(xùn)就可操作。緊湊型設(shè)計(jì)，分辨率為4 nm。

詳細(xì)介紹

日立公司于2016年4月15日在發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，但分辨率不輸大型電鏡，同時(shí)操作極其簡(jiǎn)便，幾乎不用培訓(xùn)就可操作。緊湊型設(shè)計(jì)，分辨率為4 nm。
掃描電子顯微鏡可對(duì)材料的表面進(jìn)行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術(shù)、生命科學(xué)、產(chǎn)品設(shè)計(jì)研發(fā)及失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。近年來(lái)，掃描電鏡觀察表面精細(xì)結(jié)構(gòu)及元素分析的需求日趨增加，而越來(lái)越多的用戶希望能在生產(chǎn)線、品保檢驗(yàn)線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此，體積小、操作簡(jiǎn)便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關(guān)注。FlexSEM 1000主機(jī)寬450mm、長(zhǎng)640mm，相比SU1510型號(hào)體積減小52%，重量減輕45%，功耗減小50%，且配備標(biāo)準(zhǔn)化的電源接口。主機(jī)與供電單元可分離，安裝非常靈活。
FlexSEM 1000采用設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和高可靠性、高靈敏度的探測(cè)器，分辨率高達(dá)4nm。FlexSEM 1000有多種自動(dòng)化功能，操作簡(jiǎn)便，即便是初次操作者也能快速拍出高質(zhì)量圖像。另外，新開(kāi)發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」可使用各種光學(xué)圖片或電鏡照片進(jìn)行導(dǎo)航，一鍵就快速精準(zhǔn)地切換至感興趣的高倍率視野。

特點(diǎn)：

a. 通過(guò)高靈敏度二次電子探測(cè)器，背散射探測(cè)器，低真空探測(cè)器（UVD^*2），實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察

b. 操作簡(jiǎn)捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片

c. 新開(kāi)發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野

d. 大窗口（30 mm²）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分^*2

*1 設(shè)置在桌面時(shí)，分離主機(jī)和電源箱

*2 選配

項(xiàng)目		內(nèi)容
分解能^*3		4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）
加速電壓		0.3 kV ～ 20 kV
放大倍率		6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （顯示倍率）
低真空模式		真空范圍：6 ～ 100 Pa
電子槍		預(yù)對(duì)中鎢燈絲
樣品臺(tái)		3-軸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái) X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～＋90°
樣品尺寸		直徑80 mm
樣品高度		40 mm
尺寸		主機(jī)：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm
探測(cè)器選配		高靈敏度低真空二次電子探測(cè)器（UVD）能量分散型X線探測(cè)器（EDS）