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產(chǎn)品用途：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等，是科研機構(gòu)和大學(xué)實驗室的理想產(chǎn)品。

產(chǎn)品介紹：
該設(shè)備是一款定制的PECVD系統(tǒng)，增加了傾斜、旋轉(zhuǎn)功能。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，高溫管式爐，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和分子泵機組?？捎糜谏L納米或石墨烯材料。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	定制旋轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號	KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
爐管尺寸	80*長度1600mm 可選其他直徑Φ50，60，80，100，120，150mm
爐管材質(zhì)	石英管
加熱區(qū)	單溫區(qū)，溫區(qū)長度400mm
工作溫度	1100℃
溫度	1200℃
溫控方式	K型熱電偶
控制方式	觸屏控制
控溫精度	±1℃
溫控保護	具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率	0-20ºC/min可調(diào) ，建議10ºC/min
加熱元件	含鉬電阻絲
工作電壓	AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制）
加熱功率	3KW
爐膛材料	氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭	標(biāo)配配有不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng)	該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，磁流體密封，氣密性好可實現(xiàn)爐管旋轉(zhuǎn)過程中的高真空。
真空系統(tǒng)部分
主要參數(shù)	采用高真空分子泵組，爐管內(nèi)真空度可達10-3pa
氣路系統(tǒng)部分
名稱	四路質(zhì)量流量計（量程可選）
等離子電源部分
功率范圍	0-500W（連續(xù)可調(diào)）
售后服務(wù)	質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質(zhì)保范圍）
更多規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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