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PECVD系統(tǒng) 返回列表頁

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-PE

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更新時(shí)間：2024-07-14 12:45:47瀏覽次數(shù)：181次

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產(chǎn)品分類品牌分類

化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD): 高真空CVD系統(tǒng) 等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD) 石墨烯、納米管生長爐低真空CVD系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積

詳情介紹

產(chǎn)品介紹：
該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)	KJ-T1200-PE
外殼	不銹鋼
內(nèi)襯	兩層氧化鋁纖維
加熱元件	電阻絲
電源供應(yīng)	AC 208-240V，單相，50/60 Hz
溫度	1200°C (2 hour)
工作溫度	1100 °C
溫度均勻	±1°C
加熱和冷卻速率	≤15 °C/S
爐管尺寸	Φ200×1400mm
管材	優(yōu)質(zhì)石英管
加熱區(qū)大小	Φ250×300mm
恒定溫度，區(qū)域長度	180mm
密封	法蘭
功率	8KW
溫度控制	30 個(gè)可編程段，用于精確控制加熱速率、冷卻速率和停留時(shí)間。內(nèi)置 PID 自動(dòng)調(diào)諧功能，具有過熱和熱電偶斷路保護(hù)。過溫保護(hù)和警報(bào)允許在沒有服務(wù)人員的情況下進(jìn)行操作。 +/- 1 ºC 溫度精度。
準(zhǔn)確	±1°C
總重量	100Kg

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