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產(chǎn)品介紹：
KJ-T1200大口徑CVD管式爐是一種具有60mm直徑石英管，真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動系統(tǒng)的可拆分管式爐。它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴(kuò)散。

產(chǎn)品用途：
包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
也可用于：真空燒結(jié)、真空氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多研究領(lǐng)域。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號	KJ-T1200-CVD
顯示	液晶顯示屏
部分
爐膛	分體式和上部可以打開
工作溫度	1100°C
加熱速率	建議：0?10℃/ min（20℃/ min）
加熱溫區(qū)	500mm
加熱元件	鉬電阻絲
溫度控制精度	±1℃
爐管尺寸	外徑200mm X長度1200mm
供電電源	三相380V，50HZ
功率	20KW （功率以實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn)）
溫度控制器	30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
第二部分混氣系統(tǒng) 七星華創(chuàng)
量程 MFC1 H2 0-200sccm 氫氣 MFC2 NH3 0-200sccm 氨氣 (D07-26C 即可，但是需要特殊要求耐氨的) MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷（CS200A 硅烷專用流量計(jì)）	LCD觸摸屏
第三部分電阻硅真空計(jì)
第四部分射頻電源
更多規(guī)格可根據(jù)需求定制

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