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表面粗糙度輪廓測量儀（型號：Proscan 2100，英國Scantron公司生產(chǎn)，*）

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更新時間：2018-04-30 09:42:44瀏覽次數(shù)：878次

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上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產(chǎn)的表面粗糙度輪廓測量儀Proscan 2100，用于對各種產(chǎn)品和材料的表面平面度、粗糙度、輪廓、共面性、表面缺陷、研磨情況、磨損情況、腐蝕情況、孔隙情況、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工制造特征等進行測量和分析。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能

對各種產(chǎn)品和材料的表面平面度、粗糙度、波面性、面形輪廓、共面性、表面缺陷、研磨情況、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工形貌特征等進行測量和分析。標(biāo)準(zhǔn)型號的系統(tǒng)要求被測物體尺寸通常不大于150*100*100mm，更大的尺寸根據(jù)要求也可供貨。工作臺zui大承載重量10Kg。

應(yīng)用范圍

* 汽車工業(yè)、造紙工業(yè)、鋼鐵工業(yè)、薄膜加工、半導(dǎo)體加工、MEMS、醫(yī)療行業(yè)等。

* 機械部件的平面度、形貌特征和輪廓測量，用來確定其表面的變化情況和材料損耗；

* 電子材料表面的平面度、翹曲度和粗糙度分析；

* 薄膜的厚度及涂層的高度測量等；

* BGA焊料球的共面性，封裝是否變形以及所有焊料球是否存在的檢查和分析；

* 化學(xué)蝕刻產(chǎn)品的測量，確定蝕刻深度和面積；

* 壓花材料平面特征分析，如合成材料皮革表面形狀測量分析；

* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產(chǎn)品和生物科研等；

* 對軋制鋁膜和鋼板表面情況進行三維分析；

* 法醫(yī)學(xué)上三維表面測量分析；

* 壓電陶瓷裝置的輪廓和表面測量；

* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；

* 醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用，如人造皮膚的輪廓分析；

* 溝槽深度和截面分析；

* 激光蝕刻表面的雕刻深度；

* 各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析；

* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度和輪廓測量分析。

產(chǎn)品介紹

英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產(chǎn)的表面粗糙度輪廓測量儀Proscan 2100配有推力直線電機，提高了掃描速度和運行的平滑度，由于采用非接觸的測量方式，線性電機可以避免驅(qū)動裝置的噪聲和振動對測量結(jié)果的影響。

Proscan 2100還配有實時機械控制軟件和Invar線性標(biāo)尺（熱脹冷縮系數(shù)非常低），分辨率為20nm，可掃描的zui小數(shù)據(jù)點間隔為0.1微米。

Proscan 2100以花崗巖為支架，是快速、精準(zhǔn)、非接觸式的三維表面測量儀器。廣泛應(yīng)用各種表面輪廓和形貌特征的精確測量和分析。高性能非接觸式光學(xué)傳感器掃面范圍是150mm（長）X100mm（寬），對被測件平面的掃描zui多可達(dá)八百萬個數(shù)據(jù)點。配套軟件可以對各種測量參數(shù)進行分析。

Proscan 2100配有多種可更換式非接觸光學(xué)傳感器，用于垂直軸方向的粗糙度測量，測量范圍是0-150μm-270mm。


Proscan 2100掃描儀	Proscan全套系統(tǒng)	Proscan 2100掃描頭

工作原理：光學(xué)色差傳感器技術(shù)

通過光纖電纜，將白光從光源發(fā)生器里傳輸?shù)絺鞲衅魃稀鞲衅黝^部配有特制的透鏡，通過色差成像技術(shù)，將白光轉(zhuǎn)換為其顏色分量，在被測物體表面上形成的光斑，再經(jīng)由傳感器返回到光譜分析儀。通過測量對焦點的波長，就可精確的測量出距離的大小。這是因為透鏡按照不同的距離聚焦不同的顏色，而在整個測量范圍內(nèi)，斑點的直徑保持不變的原理。

產(chǎn)品特點

* 花崗巖框架結(jié)構(gòu)，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒有振動。

* 使用線性電機和優(yōu)質(zhì)工作臺，電機與工作臺不相連，減少了噪聲振動對掃描數(shù)據(jù)的影響。

* 電機質(zhì)量更輕，提高了運動工作臺的平滑度和平靜度。

* 測量速度快，每秒可達(dá)1000個數(shù)據(jù)點，分辨率達(dá)5nm。

* 傳感器采用可更換式設(shè)計，方便各種粗糙高度材料的測量。

* 非接觸式測量，不對被測物體造成劃痕磨損，更加適用于對腐蝕性材料的測量。

* 掃描范圍為150*100mm，適用于對各種尺寸產(chǎn)品的輪廓測量，安裝簡單。

* 矩陣式掃描方式，可對物體某個部位進行單獨掃描，亦可對不規(guī)則形狀進行測量。

* 功能強大的配套軟件，適用范圍廣，操作簡單，方便對各種掃描數(shù)據(jù)進行分析。

* 使用ProForm軟件，可對材料磨損前和磨損后的輪廓差異情況進行診斷和分析。

軟件特點

顯示特點

- 彩色三維或二維畫面顯示

- 平面式視圖

- 自動或手動標(biāo)注刻度

- 視圖方向可隨意旋轉(zhuǎn)

矩陣式掃描

- 對單個部件進行多行掃描

- 對安裝在夾具上的多個部件進行自動掃描

- 自動生成掃描結(jié)果報告

保存、回取、導(dǎo)出和打印

- 從硬盤中上傳已保存的掃描數(shù)據(jù)

- 對兩個掃描結(jié)果進行比較，顯示其差別

- 導(dǎo)出ASCII格式數(shù)據(jù)，ZZZZ...LF & XYZLF...CR'a'或Matlab格式數(shù)據(jù)

- 彩色三維位圖

- 通過Windows打印管理器進行打印

評定參數(shù)

Am 輪廓算術(shù)平均值

Ra 粗糙度中心線平均值

Rz（DIN）峰谷高低平均值

Rz（ISO）十點高度

Rmax 峰谷高低zui大值

Rp 峰值高度平均值

Rq 粗糙度均值平均方根

Rpm 峰值高度zui大值

Rvm 谷值深度zui大值

R3z 第三峰谷高低平均值

Wt 波形深度總值

Pt 輪廓深度總值

Nr 峰值計數(shù)歸一

Tpi 承載比

Tpa 材質(zhì)比（宏）

D 峰值密度

S 峰值輪廓間隔平均值

Sm 峰值就地間隔平均值

數(shù)據(jù)設(shè)定

- X、Y和Z三維視圖設(shè)定

- 二維X、Y平面視圖設(shè)定

- 用戶自定義三點平面修正

- 自動平面修正

- 掃面圖形可*旋轉(zhuǎn)

- 共面性的計算

結(jié)果過濾

Warpage過濾器（可選）可清除表面粗糙情況，只保留輪廓。

Surface過濾器（可選）可清除表面輪廓，只保留粗糙情況。

形態(tài)測量

- 弧面的半徑計算

- 體積計算

- 表面積計算

- 截面積計算

- 臺階高度測量

- 角度計算

其他

- X、Y單獨掃描或X&Y同時掃描

- X軸zui大掃描點數(shù)：30000

- Y軸zui大掃描點數(shù)：30000

- X&Y軸掃描zui大點數(shù)：800萬

- X軸增量范圍：1μm-9.999mm

- Y軸增量范圍：1μm-9.999mm

Proscan 2100主顯屏幕


BGA球柵陣列表面掃描圖	機械密封平面度掃描圖

表面粗糙度掃描圖	薄膜材料表面形態(tài)掃描圖

孔端面的平面度掃描圖	截面二維輪廓圖

技術(shù)規(guī)范

X軸（長）

- 掃描的長度范圍150mm

- 線性編碼器分辨率：20nm

- 數(shù)據(jù)點間隔zui小增量：0.1μm

- 導(dǎo)軌：精密交叉式輥軸

- 線性度：25mm行程范圍內(nèi)0.5μm

- 定位精度：40nm

- zui大負(fù)載：5kg

- 線性電機：*非接觸式驅(qū)動

Y軸（寬）

- 掃描的寬度范圍100mm

- 線性編碼器分辨率：20nm

- 數(shù)據(jù)點間隔zui小增量：0.1μm

- 導(dǎo)軌：精密交叉式輥軸

- 線性度：25mm行程范圍內(nèi)0.5μm

- 定位精度：40nm

- zui大負(fù)載：4kg

- 線性電機：*非接觸式驅(qū)動

Z軸（高）

- 150mm行程

- 絲杠電機驅(qū)動

- 根據(jù)被測物體大小，手動定位傳感器的高度

產(chǎn)品尺寸

- 尺寸：740*542*838mm （長*寬*高），重量：79kg

電源

100-110/220或240VAC，50/60Hz

傳感器選型方案

傳感器型號	粗糙度測量范圍	與被測物體的間距 mm	分辨率	線性度（%+/-量程）	技術(shù) 原理
S3/011	110 μm	3.3	5 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S11/03	300 μm	11	12 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S13/1.1	1.1 mm	12.7	25 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S16/2.5	2.5 mm	16.4	75 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S29/10	10 mm	29	280 nm	0.1	白光色差技術(shù)
S20/20	20 mm	19.6	600 nm	0.1	白光色差技術(shù)
L25/2H	2 mm	25	0.1 μm	0.05	CCD三角測量技術(shù)
L35/10H	10 mm	35	0.5 μm	0.03	CCD三角測量技術(shù)
L50/20H	20 mm	50	1 μm	0.03	CCD三角測量技術(shù)
L70/50H	50 mm	70	2.5 μm	0.03	CCD三角測量技術(shù)