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3660標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間：2017-08-28 11:30:15瀏覽次數(shù)：567次

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北京北方華瑞自動(dòng)化科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠(chǎng)家

商鋪產(chǎn)品：361條

所在地區(qū)：北京

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

3200系列高等級(jí)質(zhì)量流量控制器- 高精度控制- 全316L結(jié)構(gòu)- 高性?xún)r(jià)比

詳細(xì)介紹

【概述/特點(diǎn)】
KOFLOC公司簡(jiǎn)介: 日本Kofloc公司是一家專(zhuān)業(yè)制造質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的廠(chǎng)家,在有廣泛的銷(xiāo)售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,LCD,燃燒,實(shí)驗(yàn)室分析,生物工藝等場(chǎng)合.
【技術(shù)規(guī)格】
3660系列標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器在分析設(shè)備、真空設(shè)備、分析研究等方面取得滿(mǎn)意效果實(shí)現(xiàn)高精度的快速控制流量范圍：50～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM 控制閥：常閉，電磁隔膜閥控制范圍：2～FS 反應(yīng)時(shí)間：0～，≤ 2秒精度：±1.5%以?xún)?nèi) 重復(fù)性：±0.5%以?xún)?nèi) 使用壓差：范圍≤5SLM時(shí)，49～294KPA 5SLM <范圍≤20SLM時(shí)，98～294KPA 壓力限制：980KPA 泄露率：1×10–8 Pa m3/second 或更小操作溫度：5～45°C 接觸介質(zhì)的材質(zhì)：本體: SUS316L 閥座: Viton TM (可選: Noeprene TM) 密封材料: Viton TM (可選: Noeprene TM) 連接：1/4SWL，可選1/8SWL，1/4VCR和1/4RC 電氣連接：9針插座控制信號(hào)：0-5VDC ]輸出信號(hào)：0-5VDC 電源：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA