產(chǎn)品名稱		3通道CVD設(shè)備
型號		KJ-T1600 -3M
管式爐部分	顯示	液晶觸摸屏
	溫度	1600℃
	工作溫度	≤1500℃
	升溫速率	0~10℃/min
	溫區(qū)	300mm
	加熱元件	MoSi2
	熱電偶	B型
	溫度控制精度	±1℃
	爐管尺寸	80x1000mm
		材質(zhì)：氧化鋁管
	塞磚	包括兩個纖維陶瓷塊，用于阻擋來自管內(nèi)的熱輻射（陶瓷塊必須在加熱前插入爐腔）。
	溫度控制	PID自動控制
	真空法蘭	帶閥門的不銹鋼真空法蘭
	電源	220V, 50 Hz, 單相6KW
質(zhì)量流量計 （液晶觸摸屏）	三臺精密質(zhì)量流量計： MFC 1：氣體流量范圍0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍0~200 sccm MFC 3：氣體流量范圍0~200 sccm （氣體流量范圍可根據(jù)您的要求） 底殼安裝1個氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝3個不銹鋼針閥，手動控制3種氣體混合
更多參數(shù)可按需定制

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。