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產品介紹：
KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質量流量計氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成?？蛇m用于石墨烯生長等。

主要功能和特點：
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等；
2、真空系統(tǒng)由旋片真空泵和進口數(shù)顯真空計組成，真空可達10Pa；
3、數(shù)字質量流量控制系統(tǒng)是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；觸屏操作，操作簡單方便。
4、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用世界卡套連接，不漏氣；

設備主要技術參數(shù)：

產品名稱	石墨烯生長爐PECVD設備(CE認證)
開啟式滑軌管式爐部分
產品型號	KJ-T1200-S60LC-H2
爐管尺寸	Φ60mmX1600mm
加熱區(qū)	300mm
工作溫度	1100℃
溫度	1200℃
溫控方式	K型熱電偶
控制方式	溫度控制系統(tǒng)采用觸屏操作，人工智能調節(jié)技術，具有 PID 調節(jié)、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序；
控溫精度	±1℃
溫控保護	具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率	0-20ºC/min ，建議10ºC/min
加熱元件	含鉬電阻絲
工作電壓	AC 220V 單相 50HZ
加熱功率	3KW
爐膛材料	氧化鋁多晶纖維
密封系統(tǒng)	該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好。
爐體結構	滑軌結構，可以實現(xiàn)快速降溫
爐管	石英爐管

真空系統(tǒng)部分
名稱	真空系統(tǒng)
主要參數(shù)	采用旋片真空泵和進口數(shù)顯真空計組成，真空度可達10Pa KF25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連；進口數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為5×10-5-1500mbar，測量精度可達0.1mbar，測量不同氣體種類不需要系數(shù)轉換
氣路系統(tǒng)部分
名稱	四路質量流量計
主要參數(shù)	四通道精密質量流量計：觸屏控制，數(shù)字顯示。流量范圍流量范圍： 1.MFC 1-MFC4：0-1000sccm可調 2.一個混氣罐 3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側，可手動控制4種氣體； 4.進出氣口：4進1出流量控制：手動旋轉式調節(jié) 連接方式：雙卡套連接
等離子電源部分
名稱	500W等離子電源
功率范圍	0-500W（連續(xù)可調）
工作頻率	13.56MHZ+0.005%
工作模式	連續(xù)輸出
功率穩(wěn)定度	≤2W
反射功率	70W
電源保護設置	DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護
供電電壓/頻率	單相交流（187V-253V）50-60HZ
冷卻方式	風冷
整機重量	13.5KG
隨機贈送	石英管1支、坩堝鉤、爐塞、密封圈、水冷機、硅膠管、內六角扳手、說明書、保修卡等
售后服務	整機質保一年，終身保修（加熱元件、密封圈等隨機贈送配件不屬于質保范圍）

1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。