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TM3030 型掃描電子顯微鏡

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更新時(shí)間：2024-06-26 09:27:27瀏覽次數(shù)：156次

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產(chǎn)品簡介

TM3030型掃描電子顯微鏡一、用途HitachiTM3030型掃描電子顯微鏡(SEM)向來被廣泛用于生物、材料、化學(xué)、物理等各種不同領(lǐng)域的表面觀察和分析

詳細(xì)介紹

TM3030 型掃描電子顯微鏡

一、用途

Hitachi TM3030型掃描電子顯微鏡(SEM)向來被廣泛用于生物、材料、化學(xué)、物理等各種不同領(lǐng)域的表面觀察和分析。但是由于SEM的局限性，使用者需要花費(fèi)大量時(shí)間在樣品制備和電鏡的操作上。

為此，日立在原有的，已受到廣泛好評的TM-1000的技術(shù)上，精益求精，研發(fā)出結(jié)構(gòu)更緊湊、功能更齊備、操作更簡便的TM-3000臺(tái)式掃描電子顯微鏡。通過簡單的操作，即可達(dá)到觀察微觀世界的目的。


二、技術(shù)規(guī)格

項(xiàng) 目內(nèi) 容
放大倍率15X～30,000X(數(shù)字放大：2X、4X)
觀察模式標(biāo)準(zhǔn)模式、減輕荷電模式、大束流分析模式
圖像模式形貌像、成份像、陰影像1、陰影像2、凹凸像
電子光學(xué)系統(tǒng)
電子槍預(yù)對中發(fā)夾型鎢燈絲
加速電壓5kV、15kV 、EDX
透鏡系統(tǒng)3級電磁式透鏡會(huì)聚系統(tǒng)
電位移±50μm (WD=4.5mm、觀察條件：標(biāo)準(zhǔn)模式)
能譜分析位置WD=10mm, TOA=35°
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)控制2軸手動(dòng)樣品臺(tái)
樣品可移動(dòng)范圍X：±17.5mm、Y：±17.5mm
*大樣品尺寸直徑70mm
*大樣品厚度50mm
檢測器高靈敏4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器
真空系統(tǒng)
自動(dòng)控制系統(tǒng)全自動(dòng)氣動(dòng)閥控制系統(tǒng)
*高真空度1.5×10-5Pa
可變真空度6~270Pa(22steps)
渦輪分子泵30L/s 1臺(tái)
隔膜泵1m3/h 1臺(tái)
真空計(jì)1臺(tái)
自動(dòng)功能
自動(dòng)燈絲飽和已配備
自動(dòng)電子束設(shè)定已配備
自動(dòng)電子槍對中已配備
自動(dòng)合軸已配備
自動(dòng)聚焦、消像散已配備
自動(dòng)亮度、對比度已配備
自動(dòng)保護(hù)功能帶有過電流保護(hù)功能、漏電遮斷器
計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)
操作系統(tǒng)Microsoft Windows® 7
CPUIntel® CoreTM2 Duo P8700(或與其兼容的PC)
內(nèi)存容量2GB以上
接口與端子USB2.0接口(2個(gè))、網(wǎng)路接口(以太網(wǎng))
觀察15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素
控制鼠標(biāo)、鍵盤
掃描速度
TV掃描640×480象素顯示，25幀/秒
快速掃描全屏顯示，6.3幀/秒
慢速掃描全屏顯示，1/4/20/40/80秒/幀


640×480像素顯示，0.5/2/10/20/40秒/幀
圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
圖像存儲(chǔ)像素640 × 480、1,280 × 960像素
圖像數(shù)據(jù)保存PC帶硬盤及其他記錄媒體
圖像存儲(chǔ)格式BMP、TIFF、JPEG
圖像信息微標(biāo)尺、微值、放大倍率、日期、時(shí)間、圖像編號(hào)、注釋、觀察條件、觀察模式、圖像模式、工作距離
輔助功能圖像旋轉(zhuǎn)、簡單測量、三維動(dòng)畫維護(hù)指南
使用環(huán)境
室溫15°C ～30°C
相對濕度40%～70%
電源單相AC100～240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座
地線D類接地，電阻小于100Ω
體積與重量
主機(jī)330(長)×606(寬)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage)
330(長)×630(寬)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)
隔膜泵145(長)×256(寬)×217(高)mm、4.5Kg



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