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半導(dǎo)體溫控裝置ChillerATS  ESL-60維修服務(wù)

zonglen公司，針對(duì)目前市場(chǎng)上進(jìn)口冰水機(jī)chiller維修費(fèi)用昂貴，服務(wù)周期長(zhǎng)。國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠家魚龍混雜，設(shè)備質(zhì)量差，服務(wù)不到位等現(xiàn)象，zonglen公司愿做您可靠的后盾，為您排憂解難。

半導(dǎo)體溫控裝置ChillerATS  ESL-60維修服務(wù)

半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。

適用于多個(gè)行業(yè)，包括：

1. 半導(dǎo)體制造：為半導(dǎo)體制造過程中的各種設(shè)備提供冷卻和溫度控制。

2. 電子行業(yè)：用于電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，如電子元件的制造、電路板的焊接等。

3. 精密加工：如數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)鏜床等精密機(jī)床主軸潤(rùn)滑和液壓系統(tǒng)傳動(dòng)媒的冷卻。

4. 化工、食品、醫(yī)藥：用于化學(xué)反應(yīng)、食品加工、藥物生產(chǎn)等過程中的冷卻和溫度控制。

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制

應(yīng)用領(lǐng)域

激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備、高分析儀、LCD制造設(shè)備、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線（數(shù)字式）設(shè)備等

半導(dǎo)體溫控裝置ChillerATS  ESL-60維修服務(wù)

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動(dòng)小