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更新時間：2021-08-28 10:03:40瀏覽次數(shù)：858次

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  半導(dǎo)體行業(yè)烤箱

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上海旦順實業(yè)有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：126條

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

普遍應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。

主要特點：箱體選用全陶瓷纖維保溫，具有升溫快、節(jié)能等特點，優(yōu)良的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐箱溫度均勻，吸風(fēng)口玻纖過濾器，確保潔凈度的要求。

一、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：
1、使用溫度：RT～400℃，溫度：450℃；
2、腔體數(shù)量:2個,上下布置；獨立控溫
3、爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶
4、空爐升溫時間：1.5h；
5、空爐降溫時間：375℃--80℃；降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風(fēng)冷)；
6、智能控制系統(tǒng)：日本歐姆龍PCL+PC工控電腦

二、氧含量（配氧分析儀）：
1、高溫狀態(tài)氧含量：≤ 10ppm +氣源氧含量;
2、低溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
3、控溫穩(wěn)定度：±1℃；
4、溫度均勻度：±10℃（400℃平臺）；

三、事件輸出:
1、配置PLC,可實現(xiàn)多事件輸出控制氣氛、水等開關(guān)和報警；
2、溫度和氧含量記錄:烘箱工藝溫度，6點溫度監(jiān)控數(shù)據(jù)及無氧數(shù)據(jù)，烘箱控制系統(tǒng)中顯示，保存，記錄，并生成報表。可查可視。
3、超溫、斷偶等聲光報警保護(hù)，產(chǎn)品烘烤批次，數(shù)據(jù)，報警，事件等等追蹤可查詢。
4、PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù)，使用 Excel 等常用軟件可以讀取，最短數(shù)據(jù)記錄間隔5S；
5、基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理

四、工藝線標(biāo)準(zhǔn)
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃
2、200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘
3、再40min升到375℃
4、375℃恒溫1H
5、最后以每分鐘3-5℃的降溫速率，79min左右從375℃降到75℃