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淄博潔凈車間溫濕度控制要求

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號1-3

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地青島市

聯(lián)系方式:蔣佰千查看聯(lián)系方式

更新時間:2021-08-02 11:03:15瀏覽次數(shù):420次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:599條

所在地區(qū):山東青島市

聯(lián)系人:蔣佰千 (總經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

淄博潔凈車間溫濕度控制要求,具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對

詳細介紹

淄博潔凈車間溫濕度控制要求

淄博潔凈車間溫濕度控制要求,潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

  ,具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)*溫度范圍為35—45%。

青島潔凈凈化技術(shù)有限公司,承接國內(nèi)凈化工程裝修設(shè)計,。供應(yīng)的凈化設(shè)備有風(fēng)淋室、傳遞窗、初中高效過濾器、臭氧發(fā)生器、層流罩、潔凈工作臺及凈化間耗材等。青島潔凈凈化技術(shù)有限公司歡迎新老客戶的!

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