半導(dǎo)體清洗純水設(shè)備出水水質(zhì)*符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn)）、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。高純水設(shè)備是用于滿足各行業(yè)需求制取純水的設(shè)備，多用于醫(yī)藥、化學(xué)化工、半導(dǎo)體行業(yè)，也都由全不銹鋼材質(zhì)

半導(dǎo)體清洗純水設(shè)備：

原水→原水箱→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級(jí)高壓泵→一級(jí)反滲透設(shè)備→二級(jí)高壓泵→二級(jí)反滲透設(shè)備→純水箱→增壓泵→EDI系統(tǒng)→純水箱→用水點(diǎn)（出水電阻率：≥15兆歐厘米）

活性炭過濾器  

半導(dǎo)體清洗純水設(shè)備采用果殼活性炭過濾器，活性炭不但可吸附電解質(zhì)離子，還可進(jìn)行離子交換吸附。經(jīng)活性炭吸附還可使*耗氧量（COD）由15mg/L(O2)降至2～7mg/L(O2)，此外，由于吸附作用使表面被吸附復(fù)制的濃度增加，因而還起到催化作用、去除水中的色素、異味、大量生化有機(jī)物、降低水的余氯值及農(nóng)藥污染物和除去水中的三鹵化物（THM）以及其它的污染物。可選用手動(dòng)閥門控制或者全自動(dòng)控制器進(jìn)行反沖洗、正沖洗等一系列操作。保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。同時(shí)，設(shè)備具有自我維護(hù)系統(tǒng)，運(yùn)行費(fèi)用很低。

電去離子（Electrodeionization）簡(jiǎn)稱EDI

  是一種將離子交換技術(shù)，離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù)。屬高科技綠色環(huán)保技術(shù)。EDI凈水設(shè)備具有連續(xù)出水、無需酸堿再生和無人值守等優(yōu)點(diǎn)，已在制備純水的系統(tǒng)中逐步代替混床作為精處理設(shè)備使用。這種*技術(shù)的環(huán)保特性好，操作使用簡(jiǎn)便，愈來愈多地被人們所認(rèn)可，也愈來愈多廣泛地在醫(yī)藥、電子、電力、化工等行業(yè)得到推廣。
  電去離子（EDI）系統(tǒng)主要是在直流電場(chǎng)的作用下,通過隔板的水中電介質(zhì)離子發(fā)生定向移動(dòng),利用交換膜對(duì)離子的選擇透過作用來對(duì)水質(zhì)進(jìn)行提純的一種科學(xué)的水處理技術(shù)。電滲析器的一對(duì)電極之間,通常由陰膜,陽膜和隔板(甲、乙)多組交替排列,構(gòu)成濃室和淡室(即陽離子可透過陽膜,陰離子可透過陰膜).淡室水中陽離子向負(fù)極遷移透過陽膜,被濃室中的陰膜截留；水中陰離子向正極方向遷移陰膜,被濃室中的陽膜截留,這樣通過淡室的水中離子數(shù)逐漸減少,成為淡水,而濃室的水中,由于濃室的陰陽離子不斷涌進(jìn),電介質(zhì)離子濃度不斷升高,而成為濃水,從而達(dá)到淡化,提純,濃縮或精制的目的。 
電去離子（EDI）系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)
1. 無需酸堿再生： 在混床中樹脂需要用化學(xué)藥品酸堿再生， 而EDI則消除了這些有害物質(zhì)的處理和繁重的工作。保護(hù)了環(huán)境。   
2. 連續(xù)、簡(jiǎn)單的操作： 在混床中由于每次再生和水質(zhì)量的變化，使操作過程變得復(fù)雜，而EDI的產(chǎn)水過程是穩(wěn)定的連續(xù)的， 產(chǎn)水水質(zhì)是恒定的，沒有復(fù)雜的操作程序，操作大大簡(jiǎn)便化。   
3. 降低了安裝的要求：EDI系統(tǒng)與相當(dāng)處理水量的混床相比，有較不的體積，它采用積木式結(jié)構(gòu)，可依據(jù)場(chǎng)地的高度和窨靈活地構(gòu)造。 模塊化的設(shè)計(jì)， 使EDI在生產(chǎn)工作時(shí)能方便維護(hù)。
電去離子（EDI）系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域
1、電廠化學(xué)水處理   
2、電子、半導(dǎo)體、精密機(jī)械行業(yè)超純水   
3、食品、飲料、飲用水的制備   
4、小型純水站，團(tuán)體飲用純水   
5、精細(xì)化工、精尖學(xué)科用水   
6、其他行業(yè)所需的高純水制備   
7、制藥工業(yè)工藝用水   
8、海水、苦咸水的淡化