怡和興研發(fā)的半導(dǎo)體晶圓烤箱，可執(zhí)行晶圓級預(yù)燒和磁性退火等前道半導(dǎo)體功能， 以及組裝/晶圓級包封功能（例如黏晶固化、穩(wěn)定性和預(yù)燒測試以及熱沖擊），以滿足其退火、干燥及熱分解需求，還滿足在大規(guī)模半導(dǎo)體封裝和組裝生產(chǎn)中對潔凈工藝、低氧化、粘合劑和聚合物的高效固化等要求。

產(chǎn)品特點：

1、利用強制通風作用，烘箱內(nèi)設(shè)有風道，溫度均勻度1.5%，物料干燥均勻。

2、采用進口數(shù)字型智能溫度控制器，定值恒溫控制模式，PID自動演算，控溫精度±0.2℃，帶傳感器斷線報警功能，超溫抑制，超調(diào)功能，控溫準，過沖低，帶超溫警報保護功能，確保產(chǎn)品運行安全。

3、雙流量計節(jié)氮系統(tǒng)，雙延時充氮控制，無氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮氣消耗量。

4、箱門于箱體結(jié)合處采用耐高溫硅橡膠條密封迫緊，保溫性能好，抗老化，環(huán)保無污染。箱門把手采用提拉式鋅合金機械把手，機械強度高，耐磨損，開關(guān)門靈活。

5、采用LED數(shù)字型時間計時器，計時0~9999H/M/S。設(shè)定溫度→設(shè)定保溫時間→時間到結(jié)束END提示-自動示切斷加熱-警報完成指示。

半導(dǎo)體行業(yè)烤箱基本配置：

1. 溫度范圍：RT～180℃；

2. 內(nèi)箱尺寸：可定制

3. 箱體數(shù):2個,上下布置，可定做；

4. 內(nèi)膽材質(zhì)：SUS321鏡面不銹鋼，無縫焊接保護被加工件不受任何污染；

5. 升溫時間（空載）：1.5h；

6. 加熱器：特制無塵加熱器；

7. 超溫保護器，馬達過載保護器，蜂鳴器，故障指示燈，無熔絲開關(guān)。