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　　半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備由預(yù)處理系統(tǒng)、超濾系統(tǒng)、軟化系統(tǒng)、反滲透裝置、EDI系統(tǒng)、Huncotte系統(tǒng)、終端供水系統(tǒng)等組成：

　　1、預(yù)處理系統(tǒng)。原水增壓泵出口至多介質(zhì)進(jìn)水管路采用UPVC材質(zhì)，高壓部分適用304不銹鋼材質(zhì)。

　　2、超濾系統(tǒng)。據(jù)原水水質(zhì)、回收率及產(chǎn)水量等因素確定膜組件的組合方式。

　　3、軟化系統(tǒng)。軟化器采用自動(dòng)閥進(jìn)行控制，同時(shí)也可根據(jù)需要切換到手動(dòng)。

　　4、反滲透裝置。反滲透裝置壓力容器的數(shù)量、排列方式及運(yùn)行壓力由供方根據(jù)根據(jù)實(shí)際原水水質(zhì)報(bào)告計(jì)算確定。

　　5、EDI系統(tǒng)。EDI裝置的設(shè)置為兩個(gè)系列，每列都能單獨(dú)運(yùn)行，也可同時(shí)運(yùn)行。

　　6、Huncotte系統(tǒng)。Huncotte系統(tǒng)選用核子級(jí)樹脂，通過*的靶向離子交換樹脂，能夠有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量，硼離子含量通過IPC-MS檢測(cè)，硼離子出水≤0.005μg/L遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于ASTM-D5127-13標(biāo)準(zhǔn)中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。

　　7、終端供水系統(tǒng)。終端供水泵能夠?qū)崿F(xiàn)不降壓設(shè)備切換，可選擇恒壓、恒流控制方式。