用擴(kuò)散泵和鈦泵并聯(lián)為主泵，擴(kuò)散泵單獨(dú)串聯(lián)前級(jí)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)可以達(dá)到極限真空度為1.33×10-6Pa。

真空系統(tǒng)駕駛艙、多功能車(chē)間及實(shí)驗(yàn)室防腐真空系統(tǒng)、鋼、鋁除氣用真空系統(tǒng)、涂料涂層工藝用真空系統(tǒng)、化工流程用真空系統(tǒng)、環(huán)境工程用途真空系統(tǒng)、污泥再生工藝用真空系統(tǒng)、特殊真空系統(tǒng)、飲料灌輸工藝用真空系統(tǒng)、氣力及玻璃運(yùn)輸用真空系統(tǒng)。

啟動(dòng)系統(tǒng)，主真空泵組開(kāi)始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運(yùn)行，真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。