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鄭州科佳電爐有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 箱式馬弗爐,管式爐,氣氛爐等 |
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鄭州科佳電爐有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 箱式馬弗爐,管式爐,氣氛爐等 |
參考價(jià) | 面議 |
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更新時(shí)間:2022-01-21 15:55:40瀏覽次數(shù):309
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產(chǎn)品名稱(chēng) | 定制旋轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) |
滑軌管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-S80-DZPECVD-R |
爐管尺寸 | 80*長(zhǎng)度1600mm 可選其他直徑Φ50,60,80,100,120,150mm |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
加熱區(qū) | 單溫區(qū),溫區(qū)長(zhǎng)度400mm |
工作溫度 | 1100℃ |
溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
控制方式 | 觸屏控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
升溫速率 | 0-20ºC/min可調(diào) ,建議10ºC/min |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制) |
加熱功率 | 3KW |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
法蘭接頭 | 標(biāo)配配有不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,磁流體密封,氣密性好可實(shí)現(xiàn)爐管旋轉(zhuǎn)過(guò)程中的高真空。 |
真空系統(tǒng)部分 | |
主要參數(shù) | 采用高真空分子泵組,爐管內(nèi)真空度可達(dá)10-3pa |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱(chēng) | 四路質(zhì)量流量計(jì)(量程可選) |
等離子電源部分 | |
功率范圍 | 0-500W(連續(xù)可調(diào)) |
售后服務(wù) | 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類(lèi):高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質(zhì)保范圍) |
更多規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制 |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。