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新型膜法加氣技術(shù)解決半導(dǎo)體純水防靜電難題

來源:國初科技(廈門)有限公司   2025年02月28日 11:31   120

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,純水是“生命線”,其質(zhì)量直接關(guān)系到芯片的性能和良率。除了對(duì)水中離子、顆粒物的嚴(yán)格控制外,溶解氣體和靜電問題也是影響生產(chǎn)的關(guān)鍵因素。芯片生產(chǎn)制造過程中,靜電會(huì)損傷產(chǎn)品,造成產(chǎn)品缺陷。因此,如何有效防止靜電產(chǎn)生,成為半導(dǎo)體超純水工藝亟待解決的難題。

傳統(tǒng)方法中,直接噴淋純水和循環(huán)沖洗雖能在一定程度上消除靜電,卻存在諸多弊端。其電阻率易受溫度、濕度以及設(shè)備老化等因素影響,穩(wěn)定性差,導(dǎo)致靜電防護(hù)效果時(shí)好時(shí)壞,增加了產(chǎn)品因靜電損壞的風(fēng)險(xiǎn)。維護(hù)成本也相當(dāng)高昂,定期的水質(zhì)檢測需采購昂貴的設(shè)備和試劑,過濾設(shè)備、離子交換樹脂等耗材的更換頻繁,人工成本也不容小覷,給企業(yè)帶來沉重負(fù)擔(dān)。而且,它對(duì)環(huán)境要求苛刻,生產(chǎn)車間需嚴(yán)格控制潔凈度,純水儲(chǔ)存和輸送需特殊容器和管道,限制了應(yīng)用場景。此外,一旦出現(xiàn)靜電突發(fā)狀況,由于純水制備和循環(huán)耗時(shí),應(yīng)急響應(yīng)能力不足,難以在關(guān)鍵時(shí)刻保護(hù)產(chǎn)品和設(shè)備。

在半導(dǎo)體純水防靜電領(lǐng)域,采用新型無氣泡的膜加氣技術(shù)。讓高純度二氧化碳均勻溶解到超純水中。二氧化碳溶解于純水中,會(huì)形成碳酸根離子,使得水箱中純水的電阻率大幅度降低,防止在半導(dǎo)體材料劃片制程、清洗過程中產(chǎn)生靜電損傷產(chǎn)品,消除切割微粒的靜電吸附便于清洗。產(chǎn)品清洗烘干后,二氧化碳會(huì)揮發(fā)不殘留任何雜質(zhì),不造成污染。

無氣泡膜加氣技術(shù)所用的膜是一種疏水性膜。膜的一側(cè)為二氧化碳,另外一側(cè)走水。二氧化碳可以自由穿過膜而均勻溶解到水里,水側(cè)的水及離子不能透過膜,通過精密調(diào)節(jié)控制二氧化碳的量,可以實(shí)現(xiàn)精確控制水側(cè)二氧化碳的濃度,從而精確調(diào)節(jié)超純水的電阻率。

加氣膜在半導(dǎo)體純水防靜電方面發(fā)揮了顯著作用:

無二次污染采用高純二氧化碳?xì)怏w作為降低電阻的物質(zhì)引入超純水中,烘干后二氧化碳可以揮發(fā),不殘留任何雜質(zhì)。不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成二次污染。

精準(zhǔn)控制通過加氣膜組件可以快速、穩(wěn)定、精確地控制二氧化碳溶解量,節(jié)省二氧化碳消耗,滿足用水電阻要求。

使用壽命長加氣膜性能穩(wěn)定,具有很長的使用壽命,減少了設(shè)備故障和停機(jī)時(shí)間,降低了維護(hù)成本,為半導(dǎo)體制造提供了有力保障。

國初科技(廈門)有限公司自成立以來,以膜分離技術(shù)為核心,致力于新型分離技術(shù)推廣,不斷探索新型膜分離技術(shù)在生物制藥、微電子、冶金、化工、機(jī)械、食品、乳品、飲料、環(huán)境等領(lǐng)域的新應(yīng)用,根據(jù)不同客戶的高度差異化需求,提供針對(duì)性的過濾及純化綜合解決方案,提高產(chǎn)品的品質(zhì),滿足客戶的需求。


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