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靜電是一種客觀的自然現(xiàn)象,產生的方式很多,如接觸、磨擦、沖流等等。其產生的基本過程可歸納為:接觸 → 電荷 → 轉移 → 偶電層形成 → 電荷分離。設備或人體上的靜電zui高可達數(shù)萬伏以至數(shù)十萬伏,在正常操作條件下也常達數(shù)百至數(shù)千伏。人體由于自身的動作及與其它物體的接觸-分離、磨擦或感應等因素,可以帶上幾千伏甚至上萬伏的靜電。靜電是正、負電荷在局部范圍內失去平衡的結果。它是一種電能,留存在物體表現(xiàn),具有高電位、低電量、小電流和作用時間短的特點。
靜電控制的主要措施有:靜電的泄漏和耗散、靜電中和、靜電屏蔽與接地、增濕等。
靜電放電引起的元器件擊穿損害是電子工業(yè)zui普遍、zui嚴重的靜電危害,它分硬擊穿和軟擊穿。硬擊穿是一次性造成元器件介質擊穿、燒毀或*性失效;軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數(shù)指標下降。
靜電敏感元器件和印制電路板在生產過程中工序之間的傳遞和儲放,必須使用防靜電上料箱、元件盒、周轉箱、周轉托盤等。以防止靜電積累造成危害。靜電敏感元器件和印制電路板,作為成品進行包裝時必須采用防靜電屏蔽袋、包裝袋、包裝盒、條、筐等,避免運輸過程中的靜電損害。
電子產品在生產過程中,其元器件、組件成品經常與設備工具等發(fā)生接觸、分離,磨擦而產生靜電,必須使用防靜電坐墊、周轉小車、維修包、工具、工作椅(凳)等,并通過適當?shù)慕拥?,使靜電迅速泄放。
磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業(yè)中的兩大危害源,但產生靜電并非危害所在,危害在于靜電積累及由此產生的靜電電荷放電,因此必須予以控制。帶靜電的物體,在其周圍形成靜電場,會產生力學效應,放電效應和靜電感應效應。由于靜電的力學效應,空氣中的浮游的塵粒會吸附到硅片等電子元器件上,嚴重影響電子產品的質量,因此,對凈化工作空間必須采取防靜電措施。
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