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白光干涉儀定義:入射光為寬帶光的干涉儀。
白光干涉儀用在低相干性的干涉中,采用白光光源,具有很寬的帶寬。光源不一定需要在可見(jiàn)光譜區(qū)域。
光源的時(shí)間相干性很低,空間相干性很高。將燈泡發(fā)出的光射入單模光纖中就可以同時(shí)得到很高的空間相干性和很寬的帶寬,但是這樣得到的功率較低。
采用超輻射光源,例如超發(fā)光二極管就可以使光的亮度提高好幾個(gè)數(shù)量級(jí)。有時(shí)還可以采用可調(diào)諧激光器。
白光干涉儀的探測(cè)器可以是光電探測(cè)器,在時(shí)間域上采集信號(hào),也可以采用光譜儀。
激光干涉儀定義:以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。
激光干涉儀具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線(xiàn)性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作,并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。
另外白光干涉儀和激光干涉儀的應(yīng)用領(lǐng)域區(qū)別:
白光干涉儀是用來(lái)測(cè)量三維微觀形貌的。激光干涉儀是用來(lái)檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)精度的
bruker白光干涉儀推薦型號(hào):ContourX-200、ContourX-500、GT-X,bruker白光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn):
·易于使用的界面
·快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果
·自動(dòng)化功能用于日常測(cè)量和分析
·泛的濾鏡和分析工具選項(xiàng),用于粗糙度和關(guān)鍵尺寸測(cè)量分析
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