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氣浮轉臺是超精密機械中的一種新型結構,從誕生之日起就一直受到世人的關注,它為微光刻技術、數(shù)控加工、生物技術、納米表面形貌測量、高精密機床研發(fā)等領域提供一個能夠實現(xiàn)超精密定位、檢測和運動的載物平臺,為開展超精密加工工藝技術研究拓展了領域,能解決高精度零件在加工、檢測等方面的難題。利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導入實現(xiàn)的,它使轉軸懸浮在空氣中并能平穩(wěn)旋轉,使轉軸在空氣中懸浮,通過軸承腔引入空氣壓力,使轉軸保持懸浮狀態(tài),從而獲得較高的軸向跳動誤差。
北京瑞邦精控科技有限公司擁有多年的精密機械加工及裝配經(jīng)驗,采用合理參數(shù)及合理的精度分配完成了前期的設計工作,制造出多規(guī)格的氣浮轉臺,掌握了氣浮轉臺從設計到制造的全套技術。可水平或臥式安裝,解決了氣浮抱死的問題,軸向跳動誤差10nm,徑向跳動誤差100nm,定位精度可做到1角秒內(nèi),手動旋轉和電動旋轉跳動誤差一致,閉式氣浮結構,高速度穩(wěn)定性。
對氣浮轉臺的高壓氣體的流動規(guī)律、壓力分布、轉臺精度分離方法等進行了充分掌握。制造出小孔節(jié)流型氣浮轉臺,其影響因素:高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器直徑、節(jié)流器數(shù)量、均壓槽深度等,找到了合理氣膜剛度時的參數(shù)區(qū)間,取得了關鍵技術突破,使用壽命10年以上,為高精度零件的加工與檢測、超精密加工工具的研制奠定了技術基礎。
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