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氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)主要有哪些優(yōu)點(diǎn)

來源：北京瑞邦精控科技有限公司 2021年06月07日 15:57 1256

　　隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速發(fā)展的階段，相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會(huì)逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會(huì)用到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，這是一款高精度的設(shè)備，主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測，微納加工，測試測量等，但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢。

　　1. 直線度和平面度高

　　2. 定位精度和重復(fù)定位高

　　3. 速度穩(wěn)定性高

　　4. 偏擺、俯仰、滾動(dòng)精度高

　　氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了氣膜剛度的參數(shù)區(qū)間有著出色的性能精度，實(shí)現(xiàn)速度2米/秒，能夠擁有4G的加速度，而且承載的能力也非常的出色，所以在目前的市場上已經(jīng)逐漸得到大家的認(rèn)可，只是當(dāng)我們在選擇設(shè)備時(shí)，或許也會(huì)存在很多的疑惑，比如說要選擇哪種材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌。

　　其實(shí)材質(zhì)的選擇是跟用戶的應(yīng)用有著緊密的聯(lián)系，單從性價(jià)比角度了解，碳化硅陶瓷材質(zhì)的氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)精度高，當(dāng)然成本也昂貴，鋁合金與大理石材質(zhì)的同樣性能比較，鋁合金的加工難度大些，成本較高，大理石的成本較便宜些。

　　利用*的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選擇無鐵芯設(shè)計(jì)，特點(diǎn)是無齒槽效應(yīng)，高動(dòng)態(tài)性能及電流噪音小等，所以在運(yùn)動(dòng)的過程中能夠?qū)崿F(xiàn)超平穩(wěn)的效果，另外配置光柵尺閉環(huán)反饋及*性的控制系統(tǒng)，獲得高定位精度和重復(fù)定位精度，控制器對(duì)光柵尺65536倍細(xì)分，獲得納米級(jí)微動(dòng)步距。

　　所以從各個(gè)方向的優(yōu)勢來看，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)已經(jīng)成為當(dāng)前從事高精密應(yīng)用行業(yè)的選擇，能夠提高整個(gè)系統(tǒng)的精度性能。

　　在國家大力發(fā)展精密制造，鼓勵(lì)發(fā)展自主品牌的大背景下，由多年從事精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)研發(fā)和生產(chǎn)的技術(shù)人員共同組建成立，團(tuán)隊(duì)具有多年核心部件研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，擁有多種應(yīng)用領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)，成熟的產(chǎn)品應(yīng)用案例。

　　產(chǎn)品擁有：精密氣浮直線臺(tái)、精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)、多軸精密氣浮臺(tái)、精密直驅(qū)直線臺(tái)、多軸精密直驅(qū)直線臺(tái)、精密垂直升降臺(tái)、笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。

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