玻璃封裝氣氛管式石英爐(T max 1100℃)

玻璃封裝氣氛管式石英爐專門設(shè)計(jì)用于1000℃以下玻璃封裝工藝、可伐合 金氧化等材料的小批量生產(chǎn)；及太陽能電池硅片擴(kuò)散、退火工藝。

技術(shù)參數(shù)

u 工作溫度RT～1000℃。

u 爐管管徑90mm～250mm可選。

u 溫區(qū)個(gè)數(shù)3～6個(gè)可選。

u 爐管個(gè)數(shù)1～4個(gè)可選。

u 程序控溫儀，智能邏輯PID算法，控制精準(zhǔn)。可編輯、儲(chǔ)存并調(diào)用多段程序，無需重新設(shè)置，操作簡(jiǎn)單。

u 執(zhí)行元件進(jìn)口SSR精度高，無噪音。

u 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱升溫速率可達(dá)10℃。

u 超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動(dòng)斷電。

u 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。

u 快速冷卻段石英腔體空冷或者水冷結(jié)構(gòu)

u 產(chǎn)品出口配置酒精燈安放支架

u 石英帽結(jié)構(gòu)便于取料和進(jìn)料

u 氣氛為氮?dú)?、氫氣、濕氮等工藝氣體

u 額外選配：爐內(nèi)測(cè)量系統(tǒng)（氧含量檢測(cè)系統(tǒng)、露點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)）；

監(jiān)控系統(tǒng)： （溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）；

注：給出的zui高溫度為工作管外測(cè)定，其它溫區(qū)個(gè)數(shù)和加熱區(qū)長(zhǎng)度可根據(jù)客戶工藝要求定制。

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