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滑道式PECVD系統(tǒng) 返回列表頁

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產(chǎn)品型號KJ-T1200-S6044-LK-Z

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更新時間：2024-07-13 11:39:40瀏覽次數(shù)：141次

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產(chǎn)品分類品牌分類

化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD): 高真空CVD系統(tǒng) 等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD) 石墨烯、納米管生長爐低真空CVD系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成

詳情介紹

產(chǎn)品介紹：
滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成。借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

產(chǎn)品應(yīng)用：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	滑道式PECVD系統(tǒng)
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號	KJ-T1200-S6044-LK-Z
加熱區(qū)長度	440mm
爐管直徑	直徑60mm
工作溫度	≦1100℃
溫度	1200℃
測溫元件	K型熱電偶
溫控系統(tǒng)	PID微電腦可編程自動控制
控溫精度	±1℃
溫控保護(hù)	具有超溫和斷偶保護(hù)功能
升溫速率	0-20ºC/min
加熱元件	高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo
工作電壓	AC 220V 單相 50HZ
滑軌設(shè)計	能實(shí)現(xiàn)快速升降溫
爐膛材料	采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
密封系統(tǒng)	該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好
爐管	高純石英管
法蘭	不銹鋼法蘭，方便拆卸，放取材料
爐殼溫度	≤45℃
真空系統(tǒng)部分
名稱	高真空分子泵組
主要參數(shù)	真空泵極限真空度10-3 pa（包含KF25接口和可移動箱體）
真空計測量范圍	其測量范圍為1×105--1×10-5pa
氣路系統(tǒng)部分
名稱	四路質(zhì)量流量計
氣路	四路
流量控制	每路氣體含有針閥單獨(dú)控制
流量計	質(zhì)量流量計
流量范圍	0-1000sccm可調(diào)
工作環(huán)境溫度	5℃-45℃
等離子電源系統(tǒng)
匹配功率范圍	0-500W
工作頻率	13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率	＜3W
匹配時間	＜3S
傳輸效率	＞90%
匹配器電源	AC220V/50-60HZ
輸入連接器	N型
輸出連接器	UHF
控制模式	手動/自動
可設(shè)預(yù)置點(diǎn)數(shù)	7
認(rèn)證	*、CE認(rèn)證
售后服務(wù)	質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍）

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。