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產(chǎn)品介紹：
該系統(tǒng)是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動(dòng)爐子可以實(shí)現(xiàn)物料的快速加熱和冷卻。

應(yīng)用范圍：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	1200℃雙管滑道式CVD系統(tǒng)
部分： 1200度滑道雙管雙溫區(qū)管式爐
產(chǎn)品型號	1200度滑道管式爐
爐管尺寸	雙石英管外管：OD 100 x ID 96 x 1400 mm 內(nèi)管：OD 80 x ID 75 x 1800 mm
加熱區(qū)	220+220mm
供電電源	230V，單相，50HZ
功率	4.0 kw
加熱元件	電阻絲
升溫速率	0-20°C/min
熱電偶	K型
第二部分：水冷系統(tǒng)
法蘭	1.水冷機(jī) CW-3000 2.水冷，密封雙管的真空法蘭：允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管.
第三部分真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)	1. 防腐數(shù)顯真空計(jì) 2. VRD-16旋片泵，抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口，波紋管和箱體
第四部分混氣系統(tǒng)
質(zhì)量流量計(jì) 量程： MFC 1: 0~10 sccm MFC 2: 0~200 sccm MFC 3: 0~10 slm MFC 3: 0~10 slm .......

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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