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高壓質(zhì)譜分析儀 HPA 220

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高壓質(zhì)譜分析儀 HPA 220

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 高壓質(zhì)譜分析儀 HPA 220
上海伯東銷(xiāo)售維修德國(guó)普發(fā)高壓質(zhì)譜分析儀 Pfeiffer HPA 220，可協(xié)助客戶(hù)選型并提供售后服務(wù)。質(zhì)譜分析儀新款上市，適合于所有的應(yīng)用特別是高壓應(yīng)用。

德國(guó)普發(fā)高壓質(zhì)譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 組成：
l 四級(jí)質(zhì)譜分析儀
l 手動(dòng)或自動(dòng)控制進(jìn)樣閥門(mén)
l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
l 前級(jí)泵 MVP 020-3
l 標(biāo)準(zhǔn)真空腔體
l 全量程真空計(jì) PKR 251
l 閥門(mén)控制單元 VCU 220
l 分子泵顯示器
l 軟體：Quadera + HPA Add-In
l 連接法蘭 DN 40 CF-F
l 電源：115 – 230 V AC, 50/60 Hz

可選的附加組件：
1.腔體加熱裝置 2.分子泵控制單元 DCU 002 3.定制軟體 4.其他全量程真空規(guī)

德國(guó)普發(fā)高壓質(zhì)譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 優(yōu)點(diǎn)：
l 此款質(zhì)譜分析儀操作組裝靈活，適用各種壓力范圍
l 簡(jiǎn)單的系統(tǒng)集成模組式組裝
l 高靈敏度多路傳輸操作
l 操作直觀提供廣泛的應(yīng)用

德國(guó)普發(fā)高壓質(zhì)譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 應(yīng)用行業(yè)：
在一個(gè)壓力范圍內(nèi)（1 x 10-7到50 hPa）進(jìn)行過(guò)程分析、監(jiān)控
1.真空鍍膜行業(yè) 2.半導(dǎo)體行業(yè) 3.光刻行業(yè) 4.冶金行業(yè) 5.真空爐 6.實(shí)驗(yàn)研究

質(zhì)譜分析儀技術(shù)參數(shù)：

質(zhì)量數(shù)（可選）	1-100 amu	1-200 amu			1-300 amu
質(zhì)譜分析儀	QMA 220
前級(jí)泵	MVP 020-3
電源線長(zhǎng)度（可選）	3m			10m
檢測(cè)	C-SEM/Faraday
C-SEM 最小檢測(cè)極限	1X10^-14 hPa
Faraday 最小檢測(cè)極限	5X10^-12 hPa
壓縮空氣	5-7 bar
進(jìn)氣法蘭	DN 40 CF-F
工作壓力（可選）	1 hPa		8hpa			50hpa
四級(jí)桿直徑/長(zhǎng)度	6 mm/ 100 mm
C-SEM 精度	200 A/hPa
Faraday 精度	5X10^-4 A/hPa
電源	115-230 V
重量	15 kg