GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

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更新時(shí)間：2023-01-12 09:53:30瀏覽次數(shù)：308次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺(tái)結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動(dòng)控制的樣品臺(tái)，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動(dòng)的工作臺(tái)（帶有真空吸盤(pán)和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)

詳細(xì)介紹

GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺(tái)結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動(dòng)控制的樣品臺(tái)，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動(dòng)的工作臺(tái)（帶有真空吸盤(pán)和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)氣相沉積。

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)	● 工作環(huán)境：溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH ● 輸入電源：208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W ● 等離子體工作壓力
RF發(fā)生器	● 輸出頻率：20-23kHz , 25KV ● 等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm ●
輸入氣體氣壓，工作氣體	● 40 PSI min.(0.055 Mpa) ● Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )
樣品臺(tái)和控制柜	● 配有可在X-Y軸移動(dòng)的樣品臺(tái)，通過(guò)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用SBC控制盒控制 ● 可手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在Z軸方向上的移動(dòng)距離 ● 控制盒采用LCD顯示，可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序 ● 大掃描范圍：8" x 9" ● 一個(gè)直徑為4"的真空吸盤(pán)安裝在X-Y樣品臺(tái)上，可吸住直徑為6"的樣品 ● 配有一真空泵，可與真空吸盤(pán)相連接 ● 整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動(dòng)架上（600x600x 800Lmm） ● 可選：可選加熱樣品臺(tái)（MAX溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作 ●
外形尺寸	● 處理樣品臺(tái)尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H ● 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H ● 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H
凈重	55kg
認(rèn)證	CE認(rèn)證
質(zhì)保期	● 一年保修，終身技術(shù)支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。
文獻(xiàn)	● 請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接以了解更多關(guān)于AP-PECVD應(yīng)用的信息：常壓等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（AP-PE-CVD）用于在低溫下生長(zhǎng)薄膜。

關(guān)鍵詞：工作臺(tái) 真空泵

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