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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)	● 輸入電源：220V 通用功率：< 1KW ● 工作電流：濺射電流：0-50 mA可調(diào) ● 單次工作時(shí)間：0-5分鐘可調(diào) ● 靶頭數(shù)目：3個(gè) ● 輸出電壓：1600V DC ● 樣品臺(tái)加熱溫度：500℃（選配）
濺射腔體	● 采用石英腔體，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H ● 密封：采用O形密封圈密封
樣品臺(tái)	● 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái),用于盛放基片，可以電動(dòng)控制移動(dòng)三個(gè)位置 ● 濺射距離：25 - 40毫米可調(diào) ● 可選購加熱型樣品臺(tái)（MAX溫度可到500℃） ● PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上）
控制面板	● 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏 ● 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度
真空泵（選配）	● 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr（僅供參考，詳情請點(diǎn)擊） ● 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr（僅供參考，詳情請點(diǎn)擊）
進(jìn)氣口	一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量
靶材	● 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm ● 可在本公司選購靶材,具體請點(diǎn)擊鏈接
外形尺寸	● 460mm×330mm×540mm (L×W×H) ● 凈重:50KG（不包括泵）
質(zhì)保期	一年保修，終身技術(shù)支持特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證
各種靶材的參數(shù)（僅供參考）	對(duì)于濺射各種金屬靶材，需要摸索THE BEST 的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)（參考值，詳情請點(diǎn)擊）
	靶材種類	真空度（Pa）	濺射電流（mA）	時(shí)間（s）	濺射次數(shù)
	Au	31-33	28-30	100	1
	Ag	31	28	100	1
使用注意事項(xiàng)	● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī) 或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié) ● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 ● 為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N） ● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈 ● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請?jiān)跒R射前清潔基材表面 ● 超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分。 ● 等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物 ● 制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力超聲波清洗機(jī) 等離子清洗機(jī) 大功率磁控濺射儀蒸鍍儀手套箱
警告	● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體。 ● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。 ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶材