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VTC-2RF 300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

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更新時(shí)間：2023-01-12 09:33:34瀏覽次數(shù)：372次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：VTC-2RF是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2“的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對(duì)于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價(jià)廉的實(shí)驗(yàn)幫手。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

輸入電源	220VAC 50/60Hz, 單相 800W (包括真空泵）
等離子源	一個(gè)300W，13.5MHz的射頻電源安裝在移動(dòng)柜內(nèi) (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
磁控濺射頭	一個(gè) 2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接靶材尺寸: 直徑為50mm,大厚度6.35mm 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上（手動(dòng)操作，見(jiàn)圖左3）濺射頭所需冷卻水：流速10L/min（儀器中配有一臺(tái)流速為16L/min的循環(huán)水冷機(jī)）同時(shí)可選配1英寸濺射頭
真空腔體	真空腔體：160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H，采用高純石英制作密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體，以屏蔽等離子體真空度：10-3 Torr （采用雙極旋片真空泵） 10-5 torr （采渦旋分子泵）
載樣臺(tái)	載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱載樣臺(tái)尺寸：直徑50mm （大可放置2英寸的基片）旋轉(zhuǎn)速度：1 - 20 rpm 樣品的MAX加熱溫度為700℃，(短期使用，恒溫不超過(guò)1小時(shí))，長(zhǎng)期使用溫度500℃ 控溫精度+/- 10℃
真空泵	我公司有多種真空泵可選，請(qǐng)點(diǎn)擊圖片，或是致電我公司銷(xiāo)售
薄膜測(cè)厚儀	一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜的厚度，分辨率為0.10 Å LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
外形尺寸
質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證	一年質(zhì)保期，終生維護(hù) CE認(rèn)證
使用注意事項(xiàng)	這款2英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜，所以并不需要太高的真空度為了較好地排出真空腔體中的氧氣，建議用5%H2+95 %N2對(duì)真空腔體清洗2-3次，可有效減少真空腔體中的氧含量請(qǐng)用純度大于5N的Ar來(lái)進(jìn)行等離子濺射，甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水，所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過(guò)凈化系統(tǒng)過(guò)后，再導(dǎo)入到真空腔體內(nèi)