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深圳市科晶智達科技有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
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聯(lián)系方式：廖勝眉查看聯(lián)系方式
更新時間：2023-01-12 09:26:55瀏覽次數(shù)：431次
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簡要描述：OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐，專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11“ OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達20#186;C/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1#186;C。儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內(nèi)配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導(dǎo)出。
| 技術(shù)參數(shù) | ||
|---|---|---|
| 真空腔體 | ● 腔體為一高純石英管 ● 尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H | |
| 真空法蘭 | ● 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作 ● 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口 ● 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口 ● 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過真空度可達10-2 torr兩個法蘭都可以通過手動操作進行上下移動 ● 一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可精確測量腔體內(nèi)真空度 （點擊圖片查看詳細資料）   | |
| 混氣系統(tǒng) | 可以選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用（本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)）   | |
| 加熱元件和載樣臺 | ● 由兩組IR紅外燈管進行加熱 ● 額定功率800 W,總功率：1600W ● 為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構(gòu)上 ● 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部 ● 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其儀器使用時樣品基片上的溫度 更加均勻 ● 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料   | |
| 熱電偶 | 兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上 | |
| 溫控系統(tǒng) | ● 兩個控溫系統(tǒng)都為PID30段程序化控溫 ● 可以選購PC控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中  | |
| 工作溫度 | ● 兩個加熱區(qū)域單獨工作的MAX溫度： ≤650ºC ● 兩個加熱區(qū)域大溫差: ≤350 ºC | |
| 加熱和冷卻速率 | ● 加熱速率: > 8 ºC /S ● 冷卻速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC) | |
| 電源 | 208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開關(guān)） | |
| 可選配件 | 本公司出售真空泵和水冷系統(tǒng)  | |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期 終身維護 (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 ) | |
| 質(zhì)量認證 | CE | |
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