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VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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更新時(shí)間：2023-01-10 09:39:53瀏覽次數(shù)：367次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

詳細(xì)介紹

VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：不需要
4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
5、通風(fēng)裝置：需要

技術(shù)參數(shù)
特點(diǎn)	1、設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。 2、真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。 3、真空度大可以達(dá)到-0.08MPa。 4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡(jiǎn)單。 6、電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的*性和均勻性。 7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用，但控制部分與真空泵需置于箱外。 8、可在惰性氣體氣氛下圖層 9、可在真空狀態(tài)下圖層，在此狀態(tài)下圖層，需要粘接基片或夾持基片方可實(shí)現(xiàn)
功率	350W
轉(zhuǎn)速	500rpm-6000rpm
時(shí)間	1s-60s
腔體真空度	1Torr（VRD-16機(jī)械泵連續(xù)工作）
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：250mm×290mm；重量：25kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	真空吸盤	1個(gè)
	夾持吸盤	1個(gè)
	無(wú)油真空泵	1臺(tái)
可選配件	VRD-16機(jī)械泵