四氟化碳是一種有機物(鹵代烴)，在常溫常壓下是一種無色氣體，這種廢氣如直接排放于大氣中不僅會造成嚴重的空氣污染，而且如果人類吸入高濃度的四氟化碳會出現(xiàn)呼吸困難、窒息、嘔吐等現(xiàn)象，那對于加工廠排放出來的含有四氟化碳的廢氣應(yīng)該怎么處理?

　　目前在各種集成電路的離子刻蝕加工工藝(溶劑、潤滑劑、激光氣體、低溫制冷劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑)中會排放出含四氟化碳的工業(yè)廢氣，除了四氟化碳還有三氟化氮、六氟化硫等酸性廢氣，也是來源于電子產(chǎn)品生產(chǎn)時芯片用的刻蝕劑、清洗劑等領(lǐng)域。

　　因不同的產(chǎn)品用到的含氟物質(zhì)不同，自然排放出來的含氟物質(zhì)是不一樣的，含四氟化碳工業(yè)廢氣處理設(shè)備可以采用熱催化氧化方法、直接吸收法、等離子體分解法、直接燃燒方法等處理工藝。

　　含四氟化碳廢氣處理方法之直接燃燒法：

　　直接燃燒指的是把廢氣中的有害物質(zhì)當(dāng)做燃料直接燒掉，在燃燒工藝進行時燃燒所放出的熱量可以補償散向環(huán)境中的熱量，起到熱量的二次利用，直接燃燒法適用于燃燒時熱值高的、濃度高的有機廢氣。

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