金屬激光切割機(jī)激光波長 1064um

功     率  20W 30W

光束質(zhì)量 ㎡<1.5

激光輸出功率 10%-*連續(xù)可調(diào)

激光輸出頻率 20KHz-100KHz連續(xù)可調(diào)

平臺移動精度 3um

重復(fù)精度 ±0.001mm

標(biāo)記深度 ≤5mm 

標(biāo)記線速度≤7000mm/s 

小線寬  0.02mm 

劃片規(guī)格  2”-6”

劃片厚度  ≤0.8mm

劃片速度 ≤600mm/s 

平臺行程  200mm×220mm

冷卻方式  風(fēng)冷

運(yùn)行環(huán)境溫度 15℃-35℃

電力需求  220V/單相/50Hz/<1200W

激光模塊壽命  100000小時

應(yīng)用范圍

金屬激光切割機(jī)

弗鐳斯激光生產(chǎn)的晶圓激光劃片機(jī)具有更強(qiáng)的通用性，使用短脈沖激光進(jìn)行劃片能夠很好的將熱影響控制在很小的區(qū)域內(nèi)，目前廣泛應(yīng)用于GPP工藝的晶圓、四元LED晶圓等晶圓的劃片。