食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
真空機(jī)械手
適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn)，本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，集成度高，無外置控制箱。
| 參數(shù) | ZX1- | ZX2- |
| 結(jié)構(gòu)形式 | 直線式 | 折疊式 |
| 適用基片 | ≤12” | |
| 載重量 | ≤0.5kg | |
| 運(yùn)動方向 | 伸縮、旋轉(zhuǎn)，可選配升降 | |
| 行程 | 伸縮:600mm/旋轉(zhuǎn):任意角度/升降:15mm；其他需求可定制 | |
| 重復(fù)精度 | ±0.1mm | |
| 可耐真空度 | ≤10-6Pa | |
| 接口 | Modbus TCP/IP、RS485(Modbus RTU)、Remote IO | |
| 其他 | 特殊手指結(jié)構(gòu)可定制 | |
真空機(jī)械手
成都華聚科技有限公司位于成都市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（龍泉驛），是一家以自動化設(shè)備技術(shù)為核心，致力于數(shù)字化智能制造裝備的高科技企業(yè)。
公司與國內(nèi)外多個研究所、高校和企業(yè)*合作，始終以超前的科技和強(qiáng)大的創(chuàng)新能力，服務(wù)于客戶。
公司主營業(yè)務(wù)覆蓋：Cluster團(tuán)簇式半導(dǎo)體工藝設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、CVD設(shè)備、核心部件（機(jī)械手、加熱器、Cluster團(tuán)簇中心傳送平臺）、定制化真空設(shè)備、機(jī)電一體自動化服務(wù)（機(jī)電物聯(lián)網(wǎng)服務(wù)）等一系列的產(chǎn)品或解決方案。
公司始終以“技術(shù)體現(xiàn)我們的智慧，質(zhì)量體現(xiàn)我們的尊嚴(yán)” 作為公司經(jīng)營理念，同時加強(qiáng)售前售后服務(wù)，我們始終以“質(zhì)量良好、服務(wù)優(yōu)先、技術(shù)*”作為追求目標(biāo)。
公司匯聚了眾多相關(guān)領(lǐng)域的人才，針對客戶的產(chǎn)品特點(diǎn)提供專業(yè)解決方案，更能以優(yōu)質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)產(chǎn)品超越客戶的期望，深受廣大客戶的認(rèn)可和贊譽(yù)！
公司現(xiàn)有26人專業(yè)團(tuán)隊，并另聘請研究員1人，大學(xué)材料教授和等離子物理團(tuán)隊6人，高級工程師2人，涵蓋真空工程、材料科研、等離子物理，器件物理、化管理等方面的各種人才。
Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).
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