光學微電子潔凈廠房

目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板

制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)*的重要設施。近幾年來，由于技術之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)

品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展

上極為重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術在行業(yè)中則處于*地位。

                

    光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排

除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一

需求范圍內(nèi)，而所給于特別設計之密閉空間。

無塵車間/潔凈室的目的如下：

功能一：過濾循環(huán)空氣建議無塵環(huán)境，

功能二：調(diào)節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境。

功能三，建立正壓環(huán)境避免外氣污染
 

光學微電子凈化工程一般包括：1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
 

3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
 

4、 設備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）

光學微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒

→ 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。

光學微電子凈化工程凈化參數(shù)換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。

壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。
 

溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
 

噪聲≤65dB（A）；

新風補充量是總送風量的10％－30％；

照度300LX。

光學微電子凈化工程結構材料1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、

窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
 

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
 

3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
 

4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

光學微電子潔凈廠房