光伏新能源硅晶片無塵車間

光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像鏡子一樣光亮的圓片，是生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路芯片的原材料。目前微電子產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，集成電路技術(shù)已邁入0.18微米以下的時(shí)代，*地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，同時(shí)對(duì)光伏新能源硅晶片的性能參數(shù)的要求也有較大的提高，因此光伏新能源硅晶片的發(fā)展前景十分樂觀。


 

光伏新能源硅晶片的生產(chǎn)工藝流程

從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長(zhǎng)-單晶棒裁切和檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學(xué)蝕刻、LP-CVD+AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝

從單晶棒生長(zhǎng)到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。

各生產(chǎn)工序環(huán)境控制要求

例：某硅片廠生產(chǎn)4~6英寸光伏新能源硅晶片，產(chǎn)量為480萬(wàn)片/年。此公司光伏新能源硅晶片應(yīng)用于分立器件、功率元件和特種集成電路的制作。

空調(diào)凈化系統(tǒng)

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