半導(dǎo)體腔室內(nèi)高精度測溫解決方案

產(chǎn)品描述：

1、精密測溫NTC傳感器；

2、真空貫通法蘭；

3、精密多通道測溫儀；

4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

- 精密測溫NTC傳感器：

采用高精度NTC傳感器，可實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體光刻設(shè)備真空系統(tǒng)的精準(zhǔn)測溫。傳感器敏感度高，響應(yīng)時(shí)間短，穩(wěn)定性優(yōu)良，確保溫度測量的準(zhǔn)確性和可靠性。

- 真空貫通法蘭：

采用真空貫通法蘭，確保測溫設(shè)備與真空系統(tǒng)之間的wanquan封閉。法蘭設(shè)計(jì)合理，安裝簡便，有效防止真空系統(tǒng)泄漏，提高測溫儀器的穩(wěn)定性和可靠性。

- 精密多通道測溫儀：

多通道測溫儀設(shè)計(jì)精細(xì)，可同時(shí)測量多個(gè)點(diǎn)位的溫度。儀器具備高分辨率、高采樣率、高精度等優(yōu)勢，可滿足對光刻設(shè)備真空系統(tǒng)多個(gè)位置溫度進(jìn)行精密監(jiān)測的需求。

- 溫度采集分析軟件DAQ TEMP：

配備溫度采集分析軟件DAQ TEMP，可實(shí)時(shí)監(jiān)測、采集、分析和記錄溫度數(shù)據(jù)。軟件界面友好，操作簡便，提供詳細(xì)的溫度曲線圖、數(shù)據(jù)分析等功能，幫助用戶更好地了解和掌握真空系統(tǒng)的溫度變化。

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體光刻設(shè)備制造廠商、研發(fā)機(jī)構(gòu)以及相關(guān)的光刻設(shè)備維護(hù)和技術(shù)服務(wù)人員。它們可以利用本產(chǎn)品對光刻設(shè)備真空系統(tǒng)進(jìn)行精密測溫，有效提高設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性，優(yōu)化生產(chǎn)流程，提升產(chǎn)品質(zhì)量。

半導(dǎo)體腔室內(nèi)高精度測溫解決方案