產(chǎn)品簡介 功能描述:四點探針標準測試方法,采用步進系統(tǒng)自動控制探頭與樣品接觸,減少人為因素對測試結(jié)果的影響;參照A.S.T.M 標準;測量方塊電阻、電阻率、電導率數(shù)據(jù)、PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理實現(xiàn)自動點測模式或手動點測模式,同一位置的重復測試或多點的面電阻測量,報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析;提供標準校準電阻件. FT-3120 系列半自動四探針測試儀
詳細介紹 詳細介紹 一.功能描述: 四點探針標準測試方法,采用步進系統(tǒng)自動控制探頭與樣品接觸,減少人為因素對測試結(jié)果的影響;參照A.S.T.M 標準;測量方塊電阻、電阻率、電導率數(shù)據(jù)、PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理實現(xiàn)自動點測模式或手動點測模式,同一位置的重復測試或多點的面電阻測量,報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析;提供標準校準電阻件. FT-3120 系列半自動四探針測試儀 二.適用范圍: 晶圓、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量;選擇性發(fā)射極擴散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結(jié)擴散片;*電極設計,如電鍍銅電阻測量等;半導體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏等. FT-3120 系列半自動四探針測試儀 三.技術(shù)參數(shù): 規(guī)格型號 FT-3120A FT-3120B FT-3120C FT-3120D 1.電阻 10^-3~2×10^4Ω 10^-5~2×10^5Ω 10^-6~2×10^5Ω 10-4~1×107Ω 2.方塊電阻 10^-3~2×10^4Ω/□ 10^-5~2×10^5Ω/□ 10^-6~2×10^5Ω/□ 10-4~1×107Ω/□ 3.電阻率 10^-4~2×10^5Ω-cm 10^-6~2×10^6Ω-cm 10-7~2×106Ω-cm 10-5~2×108Ω-cm 4.測試電流 0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA, 10mA,100mA 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 10mA ---200pA 5.電流精度 ±0.1% ±2% 6.電阻精度 ≤0.3% ≤10% 7.PC軟件操作 PC軟件界面:電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、數(shù)據(jù)管理分析:過程數(shù)據(jù),大、小值,均值,方差,變異系數(shù),樣品編號,測試點數(shù)統(tǒng)計報表生成等 8.探針范圍: 探針壓力為100-550g;依據(jù)樣品接觸需要手動調(diào)節(jié) 9.探針 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì),探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規(guī)格可定制 10.可測晶片 尺寸選購 晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm); 方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm 11.分析模式 自動或手動單點模式 12.加壓方式 測量重復性:重復性≤3% 13.安全防護 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 14.測試環(huán)境 實驗室環(huán)境 15.電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 16.選購項目 電腦和打印機