詳細(xì)介紹
FT-330系列普通四探針方阻電阻率測(cè)試儀詳情介紹
FT-330 Series common four probe resistance ratio test instrument
適用范圍Widely used:
1.覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試
2.硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件,導(dǎo)電薄膜(ITO導(dǎo)電膜玻璃等),金屬膜,導(dǎo)電漆膜,蒸發(fā)鋁膜,PCB銅箔膜,
3.EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆,導(dǎo)電性糊狀物,導(dǎo)電性塑料,導(dǎo)電性橡膠,導(dǎo)電性薄膜,金屬薄膜,
4.抗靜電材料, EMI 防護(hù)材料,導(dǎo)電性纖維,導(dǎo)電性陶瓷等,
功能描述Description:
1. 四探針單電測(cè)量方法
2. 液晶顯示,自動(dòng)測(cè)量,自動(dòng)量程,自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.
3. 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
4. 選配:PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.
5. 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇
參照標(biāo)準(zhǔn):
1.硅片電阻率測(cè)量的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84).
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》.
型號(hào)及參數(shù)Models and technical parameters
規(guī)格型model | FT-331 | FT-332 | FT-333 | FT-334 | FT-335 | FT-336 |
1.方塊電阻范圍Sheet resistance | 10-5~2×105Ω/□ | 10-4~2×105Ω/□ | 10-3~2×105Ω/□ | 10-3~2×104Ω/□ | 10-2~2×105Ω/□ | 10-2~2×104Ω/□ |
2.電阻率范圍Resistivity | 10-6~2×106Ω-cm | 10-5~2×106Ω-cm | 10-4~2×106Ω-cm | 10-4~2×105Ω-cm | 10-3~2×106Ω-cm | 10-3~2×105Ω-cm |
測(cè)試電流范圍 Test current | 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA | 10μA,100µA,1mA,10mA,100mA | 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA | 10μA,100µA,1mA,10mA, 100mA | 0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA | 1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA |
4.電流精度 Current accura | ±0.1% | ±0.2% | ±0.2% | ±0.3% | ±0.3% | ±0.3% |
5.電阻精度Resistance | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
6.顯示讀數(shù)display | 液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity | |||||
7.測(cè)試方式test mode | 普通單電測(cè)量general single electrical measurement | |||||
8.工作電源power | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W | |||||
9.誤差errors | ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 Standard Sample results) | |||||
10.選購(gòu)功能choose to buy | 選購(gòu)1.pc軟件; 選購(gòu)2.方形探頭; 選購(gòu)3.直線形探頭; 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái);5.標(biāo)準(zhǔn)電阻 1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform. | |||||
11.測(cè)試探頭Test probe | 探針間距選購(gòu):1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu):碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes. Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles. |
工作原理和計(jì)算公式
1.四探針法測(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下:
直線四探針測(cè)試布局如圖8,相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理:
當(dāng)電流通過1、4探針,2、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下:
儀器工作原理圖
四探針探頭
測(cè)試報(bào)表樣本
1. 開啟電源,預(yù)熱5分鐘.
2. 裝配好探頭和測(cè)試平臺(tái).
3. 設(shè)定所需參數(shù).
4. 測(cè)量樣品
5. 導(dǎo)出數(shù)據(jù).
1. 自動(dòng)量程
2. 雙電組合測(cè)試方法
3. 標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器
4. PC軟件運(yùn)行
5. 同時(shí)顯示電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
6. 可顯示5位有效數(shù)字.
7. 中、英文界面
部分客戶案例
濟(jì)南展雄電子有限公司
青島啟東電子設(shè)備有限公司
福建萬龍金剛石工具有限公司
杭州晶鑫鍍膜包裝有限公司
丹東海浩電子科技有限公司
杭州晶鑫鍍膜包裝有限公司
華南理工大學(xué)
遠(yuǎn)東福斯特新能源有限公司
南方科技大學(xué)
福建省泉州萬龍實(shí)業(yè)有限公司
蘇州環(huán)明電子科技有限公司
石家莊軍械學(xué)院
天津儀恒達(dá)科技有限公司
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江陰市中興光電實(shí)業(yè)有限公司
江蘇儀征電子管有限公司
北京思普特科技有限公司
出廠檢驗(yàn)報(bào)告樣本
服務(wù)項(xiàng)目
1.質(zhì)保:12個(gè)月,長(zhǎng)期維護(hù).
2.培訓(xùn):操作培訓(xùn):
電話教學(xué);U盤教學(xué)文件;遠(yuǎn)程可視溝通;現(xiàn)場(chǎng)教學(xué);說明書教學(xué)文件
3.保養(yǎng)和維護(hù):
提供因知保養(yǎng)和維護(hù)文件、標(biāo)識(shí)、表格 、保養(yǎng)提醒.
4.驗(yàn)證文件:
3Q驗(yàn)證文件、計(jì)量證書
5.擴(kuò)展服務(wù):
延保服務(wù),樣品測(cè)試服務(wù),后延服務(wù),儀器租賃服務(wù).
FT-330系列普通四探針方阻電阻率測(cè)試儀視頻文件鏈接:/v_show/id_XNDM1NDM2MTYyOA==.html?spm=a2hzp.8253869.0.0