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　　高溫爐注意事項除了做試驗外，不要停留在高溫爐管區(qū)。試驗作業(yè)完畢時，若無人繼續(xù)運用，請關(guān)特別氣體，保存N2活動， 爐管保持在standby溫度，并檢查是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)，如：cleanhood燈火、煮酸用的小電爐或其它，請順手關(guān)掉。

　　處理HF時，請戴手套，如不小心碰到HF時，請馬上沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'.石英玻璃制品請小心運用，防止破裂，引起嚴重割傷。防止吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

　?。↘CN）不行與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時，請立即通知有關(guān)人員（技術(shù)員等）。請節(jié)約純水用量。破晶片、濾紙、棉花棒……等。

　　請勿掉入清洗槽的底部排水孔，防止因排水不良形成地板漬水。長短推桿之前端，在還沒運用到時，請朝上防止污染。晶片進出爐口時，承接boat的holder,請勿碰觸爐管口，防止污染爐管。