ZKY-2000真空度測試儀

主要特點

★基于電離電荷的采樣技術
ZKY-2000型真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。我廠專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關性。因此，我廠*了基于電離電荷的采樣技術，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。

★漏電電流的處理
對處于分斷狀態(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時，會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預測性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。

★內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時，其放電電荷量是不同的，并且有相當?shù)牟町悺闇蚀_測量，對每一種真空滅弧室必須有對應的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作，取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關系的數(shù)據(jù)，通過數(shù)學處理，將其特征參數(shù)送入ZKY-2000系列產(chǎn)品。因此,ZKY-2000系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線。
這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中*的。
關鍵詞：ZKY-2000真空度測試儀，，

技術參數(shù)

▲測量范圍： 1*10-5～1*10-1pa
▲測量誤差： l*l0-4～1*l0-1pa中誤差<5%
▲測量分辨率： 10-5pa
▲允許環(huán)溫： O℃～55℃
▲空氣濕度： <85%RH
▲電 源： AC220士10%
▲外型尺寸： 430X300X235mm

測試原理：ZKD-3型真空度測試儀
將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距，施加脈沖高壓，將新型電磁線圈環(huán)繞于滅弧室外側，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖強磁場和強電場的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運動，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系。對于不同的真空管型號（管型），由于其結構不同，在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場與磁場的條件下，離子電流間的對應關系曲線。當測知離子電流后，就可以通過查詢管型的離子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。這一過程由計算機自動完成。