本儀器既可測(cè)量高電阻，又可測(cè)微電流,可同時(shí)測(cè)量體積電阻率和表面電阻率。采用了美國(guó)In公司的大規(guī)模集成電路以及我所的技術(shù),使儀器體積小、重量輕、準(zhǔn)確度高。