產(chǎn)品介紹：管式真空爐是在原有管式爐的基礎(chǔ)上，增加真空系統(tǒng)，得到高潔凈腔體，提供清潔無(wú)雜質(zhì)的高真空狀態(tài)，加熱溫度均勻且能夠精確控制，特別適用于半導(dǎo)體器件或其他對(duì)環(huán)境要求高的材料的退火工藝，工件質(zhì)量?jī)?yōu)良，