離子遷移譜技術(shù)具有靈敏度高（ppb范圍）、響應(yīng)速度快（毫秒范圍）、結(jié)構(gòu)緊湊、可在大氣壓下操作以及能分離異構(gòu)體等優(yōu)點。在這篇簡短的報告中，我們展示了使用IMS檢測（HCl）和氟化氫（HF）的靈敏度和快速響應(yīng)。