日立公司于2016年4月15日在發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡FlexSEM1000。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，但分辨率不輸大型電鏡，同時(shí)操作極其簡便，幾乎不用培訓(xùn)就可操作。緊湊型設(shè)計(jì)，分辨率為4nm。