電子級化學品顆粒除雜系統(tǒng)本電子級清潔管控系統(tǒng)可以對各類液體的顆粒度、清潔度、污染物進行管理、控制、監(jiān)測和分析；設備及零部件沖洗顆粒污染物的管控及測試，純凈溶液和電子級用水中不溶性微粒的管控及測試，電子