簡(jiǎn)要描述：OLED顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLED自主發(fā)光后測(cè)量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測(cè)著重于精準(zhǔn)度，系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結(jié)構(gòu)，減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動(dòng)問(wèn)題，可解決高倍率解析時(shí)的震動(dòng)問(wèn)題。