該系列真空泵可單獨(dú)使用，亦可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵及鈦泵使用，設(shè)有氣陣閥時(shí)，可抽送適量的可凝氣體、濕空氣或氣水混合氣體，但介質(zhì)中不能含有顆粒狀固體物質(zhì)。該系列泵廣泛用于冶金、機(jī)械、電子、化工、石油