工作臺(tái)經(jīng)初過濾器與高效過濾器過濾后(過濾效率99．99%0.3um)，在臺(tái)面內(nèi)部工作區(qū)域呈水平方向?qū)崈魵饬魉统?，滿足局部區(qū)域?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求，對(duì)改善工藝條件、確保潔凈潔度*的重要凈化設(shè)備之一，廣泛應(yīng)用于局部要求